離子束加工技術(shù)是一種使用離子束對材料進行成形或改性的加工方法，是一種原子級加工技術(shù)。 離子注入，離子沉積和強脈沖離子束材料改性等離子束加工技術(shù)已在工業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。 當前，正在研究和開發(fā)一些新的離子束處理技術(shù)。

  離子束處理技術(shù)是1970年開發(fā)的一種特殊處理方法。 它具有加工精度高，易于精確控制，污染少，加工應(yīng)力和變形最小的特點。 目前，離子束材料表面改性技術(shù)的研究，推廣和應(yīng)用已取得了很大的成就。 其標志之一是離子注入微細加工技術(shù)的發(fā)展。 離子注入微細加工技術(shù)已成為VLSI微細加工的關(guān)鍵技術(shù)，推動了現(xiàn)代電子技術(shù)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。 離子材料改性的工程問題是離子注入會導(dǎo)致材料表面成分和微觀結(jié)構(gòu)的變化以及新化合物的沉淀，從而導(dǎo)致材料表面（硬度），摩擦學(xué)和化學(xué)性質(zhì)的變化。

  離子束可控地形成材料表面成分的變化，結(jié)構(gòu)變化和溫升效應(yīng)是修飾離子束材料的三把利劍。 其構(gòu)造的工藝特性遠遠優(yōu)于其他工藝。 因此，離子束表面處理具有誘人的研究和應(yīng)用前景。

  離子束加工技術(shù)在相對較低的壓力下，從離子源中取出的氨離子以一定角度轟擊目標。 由于被轟擊離子的能量約為Ikev，因此靶的穿透深度可忽略不計，并且級聯(lián)碰撞僅發(fā)生在靶上。 在具有幾個原子厚度的表面層中，大量原子逸出目標材料的表面并成為濺射的粒子，其能量約為10ev。

  由于真空室內(nèi)的背景氣體分子相對較少，因此濺射粒子的自由路徑很大。 這些顆粒以直線到達基板并沉積在基板上以形成薄膜。 由于大多數(shù)濺射粒子的能量只能穿透并使薄膜致密，因此有足夠的能量置換其他粒子，從而損壞了薄膜； 由于背景壓力低，該膜污染極低。 而且，冷的基材還防止了由熱激發(fā)引起的膜中晶粒生長的擴散。

以上就是常州鑫立離子技術(shù)有限公司小編收集的內(nèi)容，如有需要請與我們聯(lián)系。公司是以一家專業(yè)從事高端離子源技術(shù)、離子束加工開發(fā)的創(chuàng)新型企業(yè)，公司具有射頻離子源系統(tǒng)、離子束加工技術(shù)、離子束加工、射頻離子源整機裝備制造和應(yīng)用的研發(fā)與設(shè)計能力，目前已與多家科研究院所及國內(nèi)知名鍍膜設(shè)備生產(chǎn)、應(yīng)用公司進行合作。公司于2018年6月份推出了完全自主研發(fā)的射頻離子源系統(tǒng)，填補了國內(nèi)在高能射頻離子系統(tǒng)的空白，促進國內(nèi)光學(xué)鍍膜以及高端離子加工產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品升級和整體競爭力提升。也可稱之為“離子源供應(yīng)商、離子源廠家”。