本技術(shù)涉及離子源設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種射頻離子源系統(tǒng)及射頻離子源控制方法。

　　背景技術(shù)：

　　射頻離子源是一種通過射頻電離產(chǎn)生等離子體，再通過柵網(wǎng)電場使正離子加速產(chǎn)生離子束的離子源，離子源在使用過程中需要陰極或者中和器來提供電子進(jìn)行中和;射頻中和器是通過射頻方式電離氣體，再通過電場分離出電子來，可以為離子源提供中和電子，在實際應(yīng)用中具有穩(wěn)定的使用效果。

　　常規(guī)的射頻離子源和射頻中和器匹配使用時，一般都是射頻離子源啟動后，啟動射頻中和器提供電子進(jìn)行中和，而在啟動射頻中和器過程中，操作人員需要對射頻中和器的控制參數(shù)進(jìn)行設(shè)置，然后根據(jù)射頻離子源啟動情況進(jìn)行調(diào)節(jié)，在射頻離子源使用過程中，當(dāng)射頻離子源進(jìn)行調(diào)節(jié)時，匹配使用的射頻中和器也要進(jìn)行相應(yīng)控制，以使得輸出的離子束得到合適的中和。

　　在實際使用當(dāng)中，由于射頻中和器每次啟動時都需要操作人員進(jìn)行設(shè)置，操作比較復(fù)雜，效率低，而且難以調(diào)節(jié)到合適的參數(shù)，另外，在使用過程，當(dāng)射頻離子源發(fā)射參數(shù)改變時，也需要進(jìn)行相應(yīng)的設(shè)置操作，射頻中和器的控制效率較低，影響了射頻中和器的使用效果。

　　技術(shù)實現(xiàn)要素：

　　一種射頻離子源系統(tǒng)，包括：射頻離子源，至少一個與所述射頻離子源匹配使用的射頻中和器;其中，所述射頻離子源的射頻控制器與所述射頻中和器的陰極控制器通過通信線連接;

　　所述射頻控制器用于控制所述射頻離子源進(jìn)行啟動和維持運(yùn)行，并向所述陰極控制器發(fā)送射頻離子源的控制參數(shù);

　　所述陰極控制器用于根據(jù)所述控制參數(shù)控制所述射頻中和器進(jìn)行啟動和維持運(yùn)行。

　　在一個實施例中，所述射頻中和器的數(shù)量為多個，各個射頻中和器分別布置在射頻離子源的設(shè)定位置處;

　　各個所述射頻中和器對應(yīng)的陰極控制器根據(jù)檢測的射頻離子源各個方向所需的電流束流，分別控制射頻中和器按輸出相應(yīng)的電子數(shù)量。