產(chǎn)品中心
常州鑫立離子技術(shù)有限公司采用獨(dú)特的射頻離化技術(shù)產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體云，實(shí)現(xiàn)了擺脫熱陰極后穩(wěn)定工作的方式;可以擺脫熱陰極的壽命短板，可以實(shí)現(xiàn)過1000+小時連續(xù)穩(wěn)定工作。利用3層?xùn)啪W(wǎng)確保離子束方向和離子能量的穩(wěn)定分布;射頻離子發(fā)生器和射頻電子發(fā)生器的綜合應(yīng)用實(shí)現(xiàn)了真空系統(tǒng)里高能等離子體云的定向能量傳送。系統(tǒng)可以在多重工作氣體環(huán)境下穩(wěn)定工作。適用于離子束刻蝕、超高精度表面處理、濺射鍍膜、離子注入等多個高科技方向，目前射頻離子源已可以應(yīng)用于光通信、視覺光學(xué)、導(dǎo)航制導(dǎo)等高精密光學(xué)領(lǐng)域以及在科研軍工方面進(jìn)行了廣泛的應(yīng)用。本產(chǎn)品可完全替代進(jìn)口設(shè)備，填補(bǔ)國內(nèi)空白打破國外壟斷。
離子束發(fā)生系統(tǒng)(射頻離子發(fā)生系統(tǒng))特點(diǎn)：
最大束流：1200mA
離子發(fā)射能量：1000eV
無陰極工作模式，減少陰極耗材的成本、避免陰極污染
中和系統(tǒng)(射頻電子發(fā)生系統(tǒng))特點(diǎn)：
中和電子供應(yīng)能力：>3A
連續(xù)工作時間：1000+小時
無陰極工作模式，減少陰極耗材的成本、避免陰極污染
熱輻射溫度(>400mm工作距離)：<70℃
1、安裝要求：
電力：380V±5%， 3相5線 5Kw
1路氧氣、2路氬氣，純度>99.99%
冷卻水：射頻線圈>1L/min，離子源本體>3L/min，水溫<25℃
進(jìn)出水壓差>0.2~0.4MPa
2、工作參數(shù)：
屏極參數(shù)：300V~1000V/150~1200mA
加速極參數(shù)：100~1000V
中和參數(shù)：300~2500mA
射頻功率：1000W+300W
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